GY603工業(yè)檢測(cè)顯微鏡配置表




主體 光學(xué)系統(tǒng) 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
目鏡 WF10X(22)·WF10x(25)
調(diào)焦系統(tǒng) 低手位同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)
帶高度限位環(huán)、粗動(dòng)松緊調(diào)整環(huán)及左右微動(dòng)手輪互換機(jī)構(gòu)
調(diào)焦范圍32mm,微調(diào)格值1um
反射照明 3WLED光源，亮度可調(diào)，光強(qiáng)記憶
透射照明 3W LED光源，亮度可調(diào)，光強(qiáng)記憶
目鏡筒 鉸鏈?zhǔn)饺坑^察鏡筒，30度傾斜，瞳距47-78mm,正像；
目/攝(100/0,0/100);
物鏡轉(zhuǎn)換器 編碼六孔轉(zhuǎn)換器

載物臺(tái) 大平臺(tái)6”×6”,
行程：160×160mm
可用于200毫米晶圓，可選試樣托架
聚光鏡 透射照明配置聚光鏡
觀察方法 明場(chǎng)，暗場(chǎng)，DIC,簡(jiǎn)易偏光